- 位移测量干涉仪参数：
- 波长：633nm
- 频率稳定度：<0.0001nm
- 相干长度：>100m
- 小光功率：0.07µW - 8.0µW
- 位置分辨率：优于 0.1nm
- 速度：10mm/s
- 测量误差：小于 0.25μm
- 位移测量板卡参数：
- 轴 / 板数量：4 个测量轴
- 板卡类型：6U VME 或 6U VME64x
- 小光功率：0.07µW
- 位置分辨率：0.15nm
- 速度：±2.55m/s
- 速度下的精度（σ）：0.2nm
- 循环误差补偿：有
- 兼容的激光器：7702、7714 和 7724
- 工作温度范围：通常为 0°C 至 40°C（具体以产品手册为准）
- 电源要求：通常为 ±15V 电源（具体以产品手册为准）
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